Herhangi bir talebinizden önce lütfen cihaz uzmanına danışınız.

Uzman : Dr. Cihat ÖZTEPE

Telefon :
E-mail : cihat.oztepe@bogazici.edu.tr

Merkezimizde OptoSense İyon Saçtırma Kaplama Cihazı OPT-SD900 hizmet vermektedir.

Daha iyi bir görüntüleme sağlamak amacıyla, iletken olmayan SEM (Taramalı Elektron Mikroskobu) numunelerini Au (altın) ile kaplamak için yaygın olarak kullanılır. Uygun bir vakum pompası kullanıldığında, çalışma vakum basıncına 2 dakika içinde hızlıca ulaşılabilir. Düşük ısı üretimi sayesinde kullanıcı dostudur ve kullanımı kolaydır.

Çalışma Parametreleri

• Vakum pompası seti: (Yağ gereksinimli) döner (rotatif) vakum pompası

• Döner pompalama hızı: 50 Hz: 8 m³/sa (2,2 L/sn) / 60 Hz: 9,6 m³/sa (2,6 L/sn)

• Vakum limiti: 2 Pa

• Maksimum saçtırma (sputtering) akımı: 0-20 mA

• Çalışma basıncı: 30 Pa - 7 Pa

• Vakumlama süresi: < 5 dk (2 Pa)

• Vakum ölçümü: Atmosferden 2*10⁻² mbar'a kadar ölçüm aralığı

• Gaz kontrolü: Gaz akış kontrolörü

• Hazne boyutu: Φ150 * 120 mm (yükseklik), çizilmeye dayanıklı kuvars cam

• Magnetron hedef (target) kaynağı: Hedef boyutu φ 50 * 0,1 mm (Au) / hedef kaynağı: Au, Ag, Pt (Altın, Gümüş, Platin)

• Ağırlık / Boyut: 45 kg / 360 mm uzunluk x 300 mm genişlik x 380 mm yükseklik

• Güç kaynağı: AC 110V 60Hz veya AC 220V 50Hz

• Güç tüketimi: < 1500W

• Soğutma yöntemi: Hava soğutma