ESEM

Uzman : Dr. Bilge Gedik ULUOCAK

Telefon : +90 212 359 72 30
E-mail : gedikb@boun.edu.tr

 

 

Philips-FEI XL30 ESEM-FEG Taramalı Elektron Mikroskobu ve Enerji Dağılımlı X-Işınları Analizörü /Görüntü Analizleri Sistemi

Yüksek çözümleme ve geniş skalada analiz edebilme kapasitesi ile  her tür malzemeyi doğal ortamında çözümleyebilen/inceleyebilen, sistem optimizasyonu yapılmış uzantılarıyla tüm Elektron Mikroskop Tekniklerinin uygulanabildiği güçlü bir mikroyapı karakterizasyon sistemidir.
Yüksek teknoloji ürünü olan bu sistemle farklı özellikleriyle birarada bulunan malzemeler orijinal formu korunarak ve çok hızlı bir şekilde incelenebilmektedir.

  • Ultra yüksek vakumdaki (e-9 torr, veya daha iyi ) FEG, alan emisyonlu elekton tabanca (BC stability < 1%/hour, Schottky emitter) ve Elekron – Optik düzeneği ile yüksek performansta çözümleme gücü  (2 -5 nm çözünürlük 30kV ve spot 2 şartlarında)
  • İleri teknoloji ürünü özel dedektörleri (LFD/GSED/ESD) ve vakum sistem düzenekleri (PLA) ile oluşturulan özel numune haznesinde (0.2-50 Torr) her tür malzemenin olduğu şekli korunarak incelenebilme/değerlendirilebilme kapasitesi
  • Sisteme özel geliştirilmiş numune standlarında (Peltier cooling stage), farklı ortamlarda çalışma kapasitesi (5ºC'den +70ºC'ye kadar)
  • Geniş spektrum aralığında yarı kantitatif analiz edebilme (Atom numarası Z>B, min. 50 ppm)
  • Yüksek enerjili çözüm gücüyle (0.5%) bileşim görüntüsü (BSI) dağılım haritaları
  • Son teknoloji ürünü sayısal görüntüleme ve değerlendirme uzantıları ile hızlı ve istatistiki veri değerlendirmesi

 

Elektron Mikroskopi Teknikleri ve Uygulamaları:

Hızla gelişen teknolojide mikroskobik ve submikroskobik boyutları gözleme, inceleme ve doğru olarak açıklama gereksinimi araştırmanın temelidir. Yüksek büyültmelerde, yüksek ayırma gücüne sahip elektron mikroskopları ve X-ışınları çözümleyicileri bu işi en iyi şekilde gerçekleştiren güçlü sistemlerdir.
Başlı başına bir araştırma düzeneği de olan Elektron Mikroskop çalışmalarında üç temel analiz birlikte yürütülmekte olup nitel ve nicel çözümlerle algılanan mikroyapılar eşzamanlı fiziksel ve mikro-kimyasal özellikleri birlikte incelenebilmektedir:

  • Gözleme, mikroyapı morfolojisi (çözebilme kapasitesi ile sınırlı)
  • Spektroskopi/Niceleme-Mikroanaliz-Elementel Bileşim-Görüntü işlem (analiz kapasitesi ile sınırlı)
  • Difraksiyon/Çözümleme-Yapı, Kristalografi ve Bileşim Özellikleri

 

Başlıcaları:

  • Mikroyapı karakterizasyonu
  • Kaplama morfolojisi incelemeleri, mikroskopik-submikroskopik boyutlarda ölçülmesi-karakterizasyonu
  • Karma yapılarda dağılım homojenliği, ölçülendirme
  • Mikrokimyasal analizler (kalitatif-yarı kantitatif)
  • Mikron ve mikronaltı boyutlarda görüntü analizleri

 

Ayrıntılı bilgi için lütfen İngilizce sayfamızı ziyaret ediniz.